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英諾賽科成功導(dǎo)入ASML光刻機

      2021年12月8日，英諾賽科（珠海）科技有限公司為ASML光刻機成功導(dǎo)入8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線舉辦了慶典。英諾賽科于2021年引入ASML光刻機，憑借著其卓越的成像性能和獨特的TWINSCAN架構(gòu)（雙晶圓工件平臺），英諾賽科進(jìn)一步提升了硅基氮化鎵功率器件制造的產(chǎn)能及產(chǎn)線良率。此次慶典上，ASML副總裁兼中國區(qū)總經(jīng)理沈波代表ASML被英諾賽科授予“最佳戰(zhàn)略合作伙伴”稱號。

晶瑞電材：公司已購得KrF光刻機

       晶瑞電材表示，公司近期已購得KrF光刻機一臺，可用于KrF光刻膠的曝光測試，同時公司KrF光刻膠（光刻膠厭氧烘箱）量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。

      此前，晶瑞電材已經(jīng)購得用于負(fù)膠、g線、i線、ArF等4臺光刻機，再加之此次購得的KrF光刻機，晶瑞電材已經(jīng)到位5臺光刻機。

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