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HMDS黏附機(jī) 光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱——光刻之增粘設(shè)備
來(lái)源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2024-05-21 | 579 次瀏覽 | 分享到:

HMDS黏附機(jī)  光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱研發(fā)背景

       集成電路光刻工藝中常使用HMDS對(duì)晶圓襯底進(jìn)行黏附處理，來(lái)提高光刻膠與襯底的黏附性,HMDS中文名六甲基二硅氮烷（Si(CH3)3）2NH，行業(yè)所要求純度大于99.7%。


HMDS黏附機(jī)  光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱作用

      襯底在空氣中易形成厚度為幾個(gè)原子層的二氧化硅薄膜，由于其具有親水性，會(huì)吸附空氣中的水分到襯底表面。光刻膠涂層多為有機(jī)疏水材料，這就造成了光刻膠與襯底黏附性差。在實(shí)際生產(chǎn)中，常將HMDS霧化，并在特定的溫度和壓力條件下處理，來(lái)改變晶圓表面的親水性。其原理可以簡(jiǎn)述為HMDS中的有機(jī)基團(tuán)取代晶圓表面水分子羥基，使晶圓表面由親水性變?yōu)槭杷浴?/span>

HMDS黏附機(jī)  光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱實(shí)用性

       在光刻中，光刻膠的黏附效果受到光刻涂層，襯底材料，以及光刻工藝三方面的影響。HMDS的黏附處理不只是對(duì)硅基襯底有效。也用于其他襯底，諸如多晶硅，石英，太陽(yáng)能電池片、金屬、貴金屬、藍(lán)寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

HMDS烘箱兼容2~12寸晶圓及碎片、方片等。