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雙腔式PI固化爐的優(yōu)點(diǎn)
來源: | 作者:雋思環(huán)境半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2023-10-26 | 539 次瀏覽 | 分享到:

雙腔式PI固化爐操作步驟

      雙腔式PI固化爐即具有兩個(gè)工作室的PI固化爐，可同時(shí)運(yùn)行也可獨(dú)立操作。不僅具有單腔固化爐的所有功能，而且還能夠使用不同的生產(chǎn)工藝。

排氣等管道合二為一，節(jié)約能源，更加環(huán)保；

雙腔式占地面積更小，節(jié)約空間；

還可批量生產(chǎn)，提高生產(chǎn)效率；

自動(dòng)化控制，減少操作人員，降低生產(chǎn)成本；

雙腔式PI固化爐用途

應(yīng)用于精密電子元件、PI/CPI/PBO/BCB膠高溫固化烘烤、LCP纖維熱處理、硅片退火固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于MEMS制造、集成電路制造、觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、第三代半導(dǎo)體、太陽能、新材料等行業(yè).

雙腔式PI固化爐定制要求

單腔尺寸：W500mm×500mm×H550mm（可指定尺寸）

材質(zhì)：內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑（可指定其他）

溫度范圍：RT+50～300/450℃  

潔凈度：Class100(可選)

升溫方式：階梯升溫，可編輯多個(gè)升溫時(shí)間

降溫方式：水冷、風(fēng)冷

氧含量：氧含量≤20ppm  

操作界面：彩色觸摸式人機(jī)界面

操作方式：一鍵運(yùn)行

真空度：100pa(可選)